＜装置の概要＞

　触針式表面形状測定器は、先端に微小なダイヤモンドを備えた触針で試料表面を走査することで、試料表面に形成された薄膜の段差（膜厚）や形状、粗さなどを評価する測定器です。試料表面を触針で直接走査するため、試料の材質を問わず精度の高い測定が可能で、操作も簡単で手軽なため、半導体や電子部品、ディスプレイ、太陽電池などの幅広い分野で使用されています。従来は柔らかい材料への対応は困難と言われていましたが、近年は触針の圧力を微小にコントロールすることが可能となったため、有機膜など柔らかい材料にも用途が広がっています。さらに、操作性や測定再現性の更なる向上も求められています。